原文由 洪(coime) 发表:
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是非晶,不过这个非晶是在制备样品时,离子减薄过程中所致
怎么看出来是非晶呀
从它的FFT图可以看出,并且在样品空洞边缘,或多或少都会存在部分的非晶,从高分辨像可以看到的
样品应该是硅 110带轴截面,沿001方向生长的单晶硅吧。
样品做的好的时候完全可以没有非晶相的,(离子束减薄,最后阶段降低能量到2KV左右)。就算有,也就是2nm左右,也不会厚到接近20nm哦,仅仅是经验哈,轻拍。
楼主的图确实是非晶相,高分辨和FFT都确认无疑。不过得看你样品是怎么制备的,这个非晶相到底是激光处理产生的的,样品制备打坏的,还是样品对贴时候的胶,就要自己慎重考虑了。
楼主哪个单位的啊?版上做半导体的好少哦。