主题:【求助】TEM FFT,帮分析一下,谢谢啊。

浏览0 回复7 电梯直达
bluebird123
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右上角的FFT插图能说明是非晶相吗,材料是单晶硅表面经激光处理,第一次做,不清楚,希望有人帮分析一下啊,非常谢谢。
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洪星二锅头
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是非晶,不过这个非晶是在制备样品时,离子减薄过程中所致
社区=冬季=
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是非晶,不过这个非晶是在制备样品时,离子减薄过程中所致


怎么看出来是非晶呀
洪星二锅头
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原文由 冬季(lylsg555) 发表:
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是非晶,不过这个非晶是在制备样品时,离子减薄过程中所致


怎么看出来是非晶呀


从它的FFT图可以看出,并且在样品空洞边缘,或多或少都会存在部分的非晶,从高分辨像可以看到的
w4m0330
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是非晶,不过这个非晶是在制备样品时,离子减薄过程中所致


怎么看出来是非晶呀


从它的FFT图可以看出,并且在样品空洞边缘,或多或少都会存在部分的非晶,从高分辨像可以看到的


样品应该是硅 110带轴截面,沿001方向生长的单晶硅吧。
样品做的好的时候完全可以没有非晶相的,(离子束减薄,最后阶段降低能量到2KV左右)。就算有,也就是2nm左右,也不会厚到接近20nm哦,仅仅是经验哈,轻拍。
楼主的图确实是非晶相,高分辨和FFT都确认无疑。不过得看你样品是怎么制备的,这个非晶相到底是激光处理产生的的,样品制备打坏的,还是样品对贴时候的胶,就要自己慎重考虑了。
楼主哪个单位的啊?版上做半导体的好少哦。
bluebird123
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中科院的的后生,上层FFT衍射可以看出是非晶,但怎么开区非晶来自胶或者非晶硅?另外,从下层FFT能发可以看出是单晶硅中存在部分缺陷(衍射斑点不清晰)?
大布口袋
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中科院的的后生,上层FFT衍射可以看出是非晶,但怎么开区非晶来自胶或者非晶硅?另外,从下层FFT能发可以看出是单晶硅中存在部分缺陷(衍射斑点不清晰)?


非晶可以容易判断 但是怎么来的 就要看样品是怎么制备的了 样品是你自己做的么?

FFT上衍射斑点不清晰和有缺陷没有直接的关系 衍射斑点只跟晶格点的周期性有关

缺陷比如位错之类的 是不会显示在衍射斑点上的

但是 晶体区域上下表面 也有可能存在非晶层 会对成像有影响
bosslyg
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中科院的的后生,上层FFT衍射可以看出是非晶,但怎么开区非晶来自胶或者非晶硅?另外,从下层FFT能发可以看出是单晶硅中存在部分缺陷(衍射斑点不清晰)?


如果来自胶 主要成分就是碳,能做 STEM-EELS 就很容易区分了
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