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主题：【求助】问一下物镜象散，FEI TF30

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risohuang
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发表于：2013/05/09 15:54:38 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
调物镜象散时，focus step设为2，调节focus时，正常情况下，很轻松地就能把圆圈变多或少（小或者大）。

但是我碰到过几次，那几个圆圈小小的，很难改变。

感觉应该是偏离正确值太远了，但即使大幅度调节MFX、MFY，还是调不回来。

这时我没有别的办法，只有把以前保存的FEG参数重新调出来使用。

现在想起来问问大家，应该有个解决的方法或者避免的方法吧？
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2013/5/16 4:33:36 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
首先得确定样品在eucentric height, 而且eucentric focus is correct. 在合适的放大倍数下，在amorphous area是可以看到thon ring的，就是你说的小圈圈。

focus step2 is relatively fine, 你可以换到5，调focus, 大概知道离eucentric focus差多少，哪个方向.
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risohuang
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2013/5/16 14:42:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好的，先谢谢了！
有机会试一下把focus step调大，看是否会找到方向。
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大布口袋
taboo
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2013/5/17 11:32:48 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
两种可能
1. 样品太厚
2. focus差的太远
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手机版： 问一下物镜象散，FEI TF30
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