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主题：【讨论】网友问扩散泵关闭，有返油，怎么办？

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symmacros
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发表于：2016/04/12 14:58:09 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我有一台5975配的是扩散泵，昨天装机抽真空，今天早上过来发现提示扩散泵关闭，我打开看了下，发现有返油，现在简单檫了一下，不知道还可以再次抽真空吗？
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2016/4/12 15:18:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我想需要检查一下扩散泵的油量是否足够，油是否变色。不知道返油是否严重？返油严重就需要检查真空腔，或进行相应的清洗等。如果轻微的返油，油量合适，就开机再次抽真空。同时开机前也检查前级机械泵的油位油的颜色。
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有雨的夜
774234134
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2016/4/12 15:31:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
再次抽真空前，要先检查一下返油的原因及程度，如果直接开，可能还会遇到上次的现象，而且没有解决问题，请问这个泵用多久了，我们的5975都没有用扩散泵的了
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千层峰
jxyan
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2016/4/12 21:44:48 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扩散泵,意外关机，容易返油，UPS很重要
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2016/4/12 21:58:34 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 千层峰(jxyan) 发表:
扩散泵,意外关机，容易返油，UPS很重要
扩散泵遇到停电等意外情况就容易返油，在tic上面会看到446的离子。
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千层峰
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2016/4/12 22:11:17 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
扩散泵遇到停电等意外情况就容易返油，在tic上面会看到446的离子。
是的，以前用6890-5973曾遇到一次返油的情况。。
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手机版： 网友问扩散泵关闭，有返油，怎么办？
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