主题：【第九届原创】ICP MS 8800维修

仪器型号：ICP-MS8800 如下图

      故障描述：仪器在运行20个样品之后，突然真空度下降，重新降温，再打开真空，真空度能够达到要求。继续做样，反复了几次。后面在开机打开真空时，pump 1彻底不能运行，前级泵和pump2运行正常。
      诊断过程：这台ICP-MS大概是2013年底开始正式运行，都是在洁净区内运行，维护保养都比较都有按时做。pump1不能运行，首先考虑到不是分子涡轮泵坏了，先打开面板，检查各个线路接头是否都完好。如下图：

        检查完接头，打开真空，还是显示pump 1无法运行，转速一直显示2%左右。关机，再打开放气阀，卸载掉机器内部的真空，拆掉机器四级杆上面的盖板，盖板有四个螺丝，直接拆掉之后就可以看到四级杆内部的情况了。用氮气瓶接一根管子，对准pump 1后面的口，开大气流吹，听不到分子涡轮泵转动的声音。至此，基本上可以判断是分子涡轮泵坏了。与安捷伦售后沟通，售后那边给出的判断与我们判断一样，报价12W换分子涡轮泵。
        维修：费用太高，只好自己先想想办法。仔细观察pump 1的结构，发现pump 1是由两个部分构成的，分子涡轮泵主体1和控制器2两个部分。如下图所示

        刚好旁边有一台ICP-MS7700，于是打开面板，发现7700和8800的pump 1部分完全一样。于是就想先排除一下是否是pump 1 的控制器坏了。把7700的控制器换到8800上面。具体步骤如下：关闭仪器电源，卸下前面板和侧面板，可以看到控制器有一个圆形的卡扣，直接逆时针旋转拧送，即可把控制器拔下来。控制器的电源和数据线连接到ICP MS右边的侧板上面。卸下侧板，找到相应的插口位置，用一字螺丝刀松开螺丝即可拔出控制线。控制器如下图：

      控制器与分子涡轮泵的接口如下图

        同样拆下8800的分子涡轮泵控制器。将7700上面的控制器安装到8800上面，安装完成之后，打开电源，打开真空，观察pump 1 的运行情况，发现在真空打开时，pump 1还是不能运行，转速一直都显示2%左右。判断不是控制器的问题，到现在基本上可以断定是分子涡轮泵坏了。
        下面就是拆卸分子涡轮泵并维修了。如下图所示，ICP MS 8800有两个pump ，分别是pump 1和pump 2.需要把pump 2拆下来。先拔掉pump 2的控制线，真空胶管，然后用扳手拧松pump 2 的螺丝。三个螺丝轮换着拧，快要拧掉的时候用手扶住pump 2的底部，防止pump 2掉下来。
        至此pump 2拆下来了。用锡箔纸轻轻盖住pump2 的上方开口处，并在上方加上一个干净的垃圾袋，防止灰尘进入pump体内。如下图所示：

        下面就需要拆pump 1了。同样拆掉连接前级泵的胶管和另外一根排气管。再拆掉左右两边的冷凝水管，拔掉电源线和控制线。Pump 1 有四个螺丝固定，分别有扳手拧松左前方和右前方的螺丝，注意左前方的螺丝需要用内六角的专用扳手。左后方的螺丝比较难拆，需要用套筒才能慢慢拆下来。

      拆下来的pump 1如下图

        可以看到整个分子涡轮泵是U形的，有左右两个出口，分别对应样品室和前四级杆的位置。整个分子涡轮泵有上下两个扇叶，中间是分子涡轮泵的轴承，下面为基座用于放真空油棉，O圈，垫片等。用手指轻轻的拨动分子涡轮泵的扇叶，发现完全卡死，不能动。现在可以肯定是分子涡轮泵坏了。后面就是如何维修分子涡轮泵了。
未完待续。