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主题：【第六届原创】GCMS维修案例： 皮拉尼规污染带来的低真空错误

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雾非雾
mcds
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2013/8/30 16:22:34 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jiangyz120(jiangyz120) 发表:
只用皮拉尼规监视真空，有时很难检出漏气，会影响对灯丝，探测器等的真空互锁保护。

还可能导致真空中的高压电极的防电现象。甚至会损坏四级杆和射频电源。


那为什么还用它？没有其它可以代替的？
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雾非雾
mcds
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2013/8/30 17:22:44 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
网上查的：

中真空度是指1 mbar ~ 1*10-3 mbar 范围内的真空。此范围内，压力的绝对大小变的不容易测得，但空气的热传导能力显的很有特点，空气流动的方式是层流，热传导能力与真空度线性对应。因此可以通过测量恒温电阻丝上的电流大小，测得真空度。

Pirani真空计金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1)

 

Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。

          气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为

  Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2)

    如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下：  Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)

  Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4)

(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。

(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为

    Ｉ2Ｒ = Ａｐ＋ I02Ｒ (5)

    Ａ = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0) (6)

    I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。Ａ式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。
该帖子作者被版主 jimzhu加 3积分， 2经验，加分理由：谢提供。
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安平
byron1111
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2013/8/30 22:51:52 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Plus和Ultra都有两级真空规。


  SE只有pirani规。



该帖子作者被版主 capinter加 20积分， 2经验，加分理由：原创奖励
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descender
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2013/8/31 10:15:38 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
更换pirani规
楼主怎么什么都有
就算岛津的实验室，某些部件也要等的
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symmacros
jimzhu
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2013/8/31 10:26:59 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 descender(descender) 发表:
更换pirani规
楼主怎么什么都有
就算岛津的实验室，某些部件也要等的


楼主可能就是搞维修等的。
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symmacros
jimzhu
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2013/8/31 10:28:18 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦的仪器好像只有高真空离子计（真空规）？
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lostking2008
lostking2008
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2015/2/18 5:17:36 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好文学习了
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yebingchen
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2017/11/7 8:26:13 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好东西，值得分享！！！！
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yebingchen
v2796086
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2017/12/6 9:44:38 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的皮拉尼也坏了，没有更换过，有没有详细的资料上传一下谢谢
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wajer
anwiner
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2021/1/25 15:30:20 21楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问岛津的pirani规是恒定电流还是恒定电压呢
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手机版： GCMS维修案例： 皮拉尼规污染带来的低真空错误
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