原文由 toto(toto) 发表:
质量流量计MFC,这个部件一般不会坏,除非所用气体不干净,曾经坏过一次,最后检查出是气体管路缠了干胶带,不知怎么带进去把MFC堵了。
原文由 sega741(sega741) 发表:
工程师检查没发现哪地方有堵,而且我们用的气体,其供应商每送一瓶高纯氩气都给气体验收报告的,难道说合作了两年他们的气体有问题了,还是说他们的气体一直有问题,导致我们的仪器现在坏了。不过从没见他们送的HE,液氩之类的气体有对我们别的GCMS,ICPOES之类的也造成损坏。而且我们接高纯氩的管路从来没用干胶布缠过。
原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:原文由 sega741(sega741) 发表:
工程师检查没发现哪地方有堵,而且我们用的气体,其供应商每送一瓶高纯氩气都给气体验收报告的,难道说合作了两年他们的气体有问题了,还是说他们的气体一直有问题,导致我们的仪器现在坏了。不过从没见他们送的HE,液氩之类的气体有对我们别的GCMS,ICPOES之类的也造成损坏。而且我们接高纯氩的管路从来没用干胶布缠过。
仪器背面写着 500-700 kPa,即 0.5-0.7 MPa。我通常把钢瓶减压阀左表调成 0.6MPa。输出压强太高,很可能把质量流量计“冲”坏。
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这个也都有注意。而且我们一开始出故障,仪器一直提示气流量不足,矩管都烧掉了一根。
原文由 sega741(sega741) 发表:
这个也都有注意。而且我们一开始出故障,仪器一直提示气流量不足,矩管都烧掉了一根。