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透射电镜（TEM）

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主题：【求助】2100F stem 下的能谱分辨率

浏览0 回复8 电梯直达

csuzn

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发表于：2014/06/18 10:44:35 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我用2100F, spot size=1nm, 聚光镜光栏1号，物镜光栏2号，150K倍率下对Al薄膜进行线扫描，让人奇怪的是扫描到样品外面的时候还有很强的信号，如附图所示（扫描时间40s）。排除样品漂移。不知道哪里的问题？

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2014/6/18 10:45:55 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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2014/6/18 10:46:47 Last edit by csuzn

洪星二锅头

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2014/6/20 8:43:32 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有点标题党

你是问分辨率，还是漂移的问题？
我觉得你的图像分辨率有点问题，如果是漂移的话，白色的重影应该是一个方向，不知道lz的Z轴高度是调好，可以再尝试一下

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csuzn

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2014/6/25 13:54:38 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

排除了漂移（白色重影是晶粒边界高低不平产生的），样品高度也没问题。就是能谱线没有落差，扫到样品外面的时候还有很强的X-ray信号，不知道为什么。

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蓝莓口香糖

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2014/6/25 21:15:29 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不光是氧吧，铝的信号应该也很强。

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csuzn

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2014/7/1 10:12:31 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

主要就是Al，O的信号是样品氧化带入的。尝试了不同方向，和倾斜结果都差不多。合轴能看到Z忖度像。郁闷中。。。

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wjianna

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2014/7/10 11:00:48 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

确实你描述的不属于分辨率问题。我觉得是杂散电子引起的信号，至于杂散电子打到哪里就不好说了。依据我的经验，样品边沿的X射线信号完全不可控，也就不要纠结了。另外，操作中我还发现，只要加了物镜光阑来做EDS，总的信号大大增加，所以我都退出物镜光阑。
我在做STEM的时候也很困惑，不是说STEM模式的电子束直径很小，为什么总有杂散信号？例如来自于载网的铜，明明我打的位置距离铜网还远，样品也没有装反

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