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主题：【已应助】ISQ开机异常，涡轮泵转速上不到40%以上

浏览0 回复22 电梯直达
雨木霖
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发表于：2016/05/24 11:46:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的ISQ，今天开机的时候，传输线和离子源的温度只能上到60多度，分子泵上到40%，期间能听到很尖锐很细的啸声（好像战斗机的发动机启动那样的声音？但是音量很小）。
转速到40%之后就不再上升，传输线和离子源的温度也逐渐下降，分子泵的转速也下降了。
这是怎么回事？？？
推荐答案：雨木霖回复于2016/05/25
仪器没挂。
机械泵的电源上周同事关掉了，所以机械泵不工作。不抽真空，分子泵自然不会上高速了
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2016/5/24 11:52:30 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很尖锐很细的啸声 有可能涡轮泵坏了，或者要坏了
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symmacros
jimzhu
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2016/5/24 12:45:18 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是分子泵问题，先拆开检查一下叶片。
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有雨的夜
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2016/5/24 20:47:30 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
估计要挂了，先不要开了，维修一下，确定没问题在开吧
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千层峰
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2016/5/24 21:30:19 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我记得你的仪器，还没一年吧。。赶紧call工程师上门。。感觉是控制模块和泵体的问题。。。
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雨木霖
mickeylin
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2016/5/25 8:24:08 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
仪器没挂。
机械泵的电源上周同事关掉了，所以机械泵不工作。不抽真空，分子泵自然不会上高速了
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symmacros
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2016/5/25 8:53:04 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 雨木霖(mickeylin) 发表:
仪器没挂。
机械泵的电源上周同事关掉了，所以机械泵不工作。不抽真空，分子泵自然不会上高速了
原来如此。分子泵有声音，可能是抽不动。
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2016/5/25 12:17:40 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦的机械泵是和主机相连。
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雨木霖
mickeylin
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2016/5/25 17:25:26 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
安捷伦的机械泵是和主机相连。


ISQ的机械泵也是连在MS上的。
只是上边有个开关。工程师说这个开关常开就可以，我同事上次关了也没告诉我
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symmacros
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2016/5/25 19:02:06 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
机械泵开关我们从来不关的。
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熙攘之间
pengzw_007
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2016/5/26 11:01:27 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子泵工作的前提是机械泵抽到一定的真空再运作吧。
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手机版： ISQ开机异常，涡轮泵转速上不到40%以上
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