主题:【第十四届原创】气质维护--- 一脚踏进漏气的二个坑

浏览0 回复14 电梯直达
原天
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八月天气正炎热,机械泵的温度感觉比之前的高和响,十多年的老泵了,心中较为忐忑。

要做能力验证了,所以停机,换了根新柱子,然后




没真空,分子涡轮泵转速到了80%就上不去了!!!!!

看到前级泵真空也没有,再听机械泵的声音比较低,再结合下之前的发热高响,然后得出一个坑自己的错误判断:机械泵动力不足,可能坏了。

为了验证是不是这样,借了个泵.

换泵流程:把4的电源拔掉,把1的管子旋开后,再把3拧开。如果泵没有油,就可以扭开3的口加油。(这错误的判断,亏了一瓶油)




换上泵之后,开机




是的,还是一样,没有什么变化。泵的没有问题的。

由于之前换了柱,打开气相门,用手按了下质谱端的螺帽,咦,前级泵的真空 上去了,松下,又降了下来。但螺帽已经拧紧了。

拧开螺帽,哇塞,原来是石墨垫装反了,还有点开裂。

重新换好石墨垫,再装好柱子,开机,前级真空有了,分子涡轮100%,真空有了。坐等第二天上机吧(没有拍图)

要上班的第二天总是一眨眼就会到来,看了下机子啊,这真空怎还是那样8e-6,没有低下来,正常会到2左右的才对。

打开灯丝,好样的,氮氧真高。有地方在微漏气了。




微漏气要怎查:准备好,一瓶82年丙酮(够纯),爱心小棉签,把监测离子设为44。

那里有口就点那里,so easy!老板再也不用担心我泄气了!

柱子前端螺帽、后端螺帽、mass接口柱,进样口、气瓶口,过滤柱口。反正就是有口有逢的地方。如果是柱子裂,就是沿着柱子移一圈。




漏气点找到了,就是这个管子松了,棉签一到,44的离子就升得好高(图是后拍的,显点低了下来)




发现漏点后,用板手旋紧就好。真空很快就上来了,达到正常可以测试的范围了。上机测试


总结:

一次漏气,踏了那么多的坑。主要还是对十多年老机子的信心不足,觉得问题就是出在硬件老残上了(去年换信通板,今年换了能分板),加上夏天气温高导致机械泵出现温度高,声音异常,第一反应就判断,这泵完了.还有想不到的是,这机械泵的泵力那么的低.

对于老机子,每一次的开机,维护,就像一场战争,不知能否还是站起来!
该帖子作者被版主 symmacros20积分, 2经验,加分理由:原创
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原文由 雾非雾(mcds) 发表:
夏天气温高时要考虑全天开空调给仪器降温。
有开空调对着吹了。但时如果公司的中央空调不开,会进热风了。也没解
原天
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原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:
主观上意识有时候会把问题放大,把握小细节
想不到前级泵的抽力那么低,连这种漏气都抽不起来。
JOE HUI
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原文由 原天(jianquan69) 发表: 想不到前级泵的抽力那么低,连这种漏气都抽不起来。
可能泵真的有点老了 禁不起岁月的摧残
symmacros
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原天
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symmacros
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原文由原天(jianquan69)发表:
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
丙酮44离子?
43
我还在想是别的什么试剂呢。
罗亚檀香
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谢谢老师享,石墨垫装反了都会引起真空上不去。看来每一个细节都要认真做好。
m3167735
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