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主题：【求助】安捷伦7900调机感度周期性升降

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发表于：2022/01/19 05:15:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
背景：半导体行业，hot plasma（通He）与cool plasma（通H2+He）均有使用，由于机台背景值异常升高，整个排查过程中做了以下动作：进样管+雾化器更换的新的，雾化室+矩管进行浸泡清洗，采样锥+截取锥进行更换新的，离子透镜组件进行打磨清洗，八极杆进行异丙醇超声清洗，plate+deflect bias透镜进行打磨清洗

现象：1ppb调机液，监控Co59，hot plasma（通He）与cool plasma（通H2+He）下，均出现感度周期性升降的现象，见附件

问题：什么原因会导致此现象发生，该如何去验证，如何去调整机台？
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Ins_d4ab5126
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2022/1/20 13:45:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
周期性升降的现象？？？变化大不大？是不是仪器不稳定还是气体没有吹干净？
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曾SY
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2023/11/17 11:45:51 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、考虑增加模式转换的稳定时间，保证气体吹扫干净，可先监控气体流量是否稳定，
2、也有可能雾化器堵了，但又没有完全堵
3、蠕动泵管老化损坏也会造成脉冲，观察蠕动泵转的是否正常
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